Alumina Ceramic End Effector (Fork Arm) nke na-arụ ọrụ nke ọma maka Semiconductor na Cleanroom Automatic
Ihe osise zuru ezu
Okwu Mmalite Ngwaahịa
Alumina Ceramic End Effector, nke a makwaara dịka aka seramiiki ma ọ bụ aka seramiiki robotic, bụ ihe eji arụ ọrụ nke ọma nke e mere maka sistemụ akpaaka na semiconductor, fotovoltaic, ngosipụta panel, na gburugburu ụlọ nyocha dị ọcha. E mepụtara ya iji nye nkwụsi ike okpomọkụ pụrụ iche, nkwụsi ike mekaniki, na iguzogide kemịkalụ, na-enye njem dị ọcha, a pụrụ ịtụkwasị obi, na nchekwa nke ihe ndị dị nro dịka wafer silicon, ihe ndị e ji iko mee, na obere ihe eletrọniki.
Dịka ụdị ihe eji arụ ọrụ robotik, ihe seramiiki a bụ njikọ ikpeazụ dị n'etiti sistemụ akpaaka na ihe eji arụ ọrụ. Ọ na-arụ ọrụ dị oke mkpa na mbufe ziri ezi, nhazi, ibu/ibudata, na itinye ọrụ n'ime ụlọ nhicha na gburugburu ikuku.
Nchịkọta Ihe - Alumina Ceramic (Al₂O₃)
Seramiiki Alumina bụ ihe seramiiki teknụzụ siri ike ma na-anaghị arụ ọrụ nke ọma nke a maara maka ihe onwunwe ya dị mma maka igwe na eletriki. Ọ dị ọcha (≥ 99.5%) alumina ejiri mee ihe na ihe ndị a na-eme ka o doo anya:
-
Ike siri ike (Mohs 9): Naanị diamond, alumina na-enye oke ike iguzogide iyi.
-
Ike okpomọkụ dị elu: Na-ejigide iguzosi ike n'ezi ihe nke ihe owuwu karịa 1600°C.
-
Enweghị ike kemịkalụ: Na-eguzogide asịd, alkalis, ihe mgbaze, na gburugburu ebe a na-agbaze ihe na plasma.
-
Mkpuchi ọkụ eletrik: Nwere ike dielectric dị elu na obere mfu dielectric.
-
Mgbasawanye okpomọkụ dị ala: Na-eme ka akụkụ kwụsie ike na gburugburu ebe okpomọkụ na-agbagharị.
-
Mmepụta obere ihe dị iche iche: Dị mkpa maka ndakọrịta ụlọ nhicha (Klas nke 10 ruo Klas nke 1000).
Atụmatụ ndị a na-eme ka seramiiki alumina dị mma maka ọrụ dị oke mkpa na ụlọ ọrụ ndị na-emetụta mmetọ.
Ngwa Ọrụ
A na-ejikarị alumina seramiiki eme ihe n'ọtụtụ ebe n'ọrụ mmepụta ihe dị elu, ọkachasị ebe ihe eji eme ihe n'ụdị ígwè ma ọ bụ plastik anaghị arụ ọrụ nke ọma n'ihi mmụba okpomọkụ, mmetọ, ma ọ bụ nsogbu nchara. Isi ihe dị mkpa gbasara ngwa gụnyere:
- Mbufe wafer semiconductor
- Sistemụ ibu na mbupu fotolithography
- Njikwa ihe mkpuchi iko na ahịrị OLED na LCD
- Nnyefe wafer silicon kristal na mmepụta sel anyanwụ
- Nnyocha anya ma ọ bụ obere elektrọnik akpaghị aka
- Nlereanya njem na ụlọ nyocha nyocha ma ọ bụ ụlọ ọgwụ
- Sistemụ akpaaka gburugburu ebe obibi agụụ
Ike ya ịrụ ọrụ n'ebughị ihe dị iche iche ma ọ bụ chajị kwụ ọtọ na-eme ka ọ dị oke mkpa maka ọrụ robot kpọmkwem na akpaaka ụlọ nhicha.
Atụmatụ Nhazi na Nhazi
A na-emepụta ihe nrụpụta seramiiki ọ bụla ka ọ dabara na sistemụ njikwa ogwe aka robotic ma ọ bụ wafer. Anyị na-akwado nhazi zuru oke dabere na:
-
Ndakọrịta nha Wafer: 2", 4", 6", 8", 12" na ndị ọzọ
-
Geometry oghere na oghere: Na-anabata njide akụkụ, nkwado akụkụ azụ, ma ọ bụ atụmatụ wafer a kpara akpa
-
Ọdụ mmiri: Oghere ma ọ bụ ọwa ikuku agbakwunyere maka njikwa na-anaghị emetụ aka
-
Nhazi nrụnye: Oghere, eriri, oghere ndị e ji aka hazie dịka ihe dị na flange ngwaọrụ robot gị si dị
-
Ọgwụgwọ elu: Mmecha a kpụchara akpụcha, a kpụchara akpụcha, ma ọ bụ nke a kpụchara akpụcha (Ra < 0.2 µm dị)
-
Nchedo nsọtụ: Nkuku gbara gburugburu ma ọ bụ chamfering iji zere mmebi wafer
Site n'iji eserese CAD ma ọ bụ ụdị 3D nke ndị ahịa na-enye, ndị injinia anyị nwere ike ime ka ogwe aka ndụdụ ọ bụla dịkwuo mma maka ibu, ike, na ịdị ọcha.
Uru nke ihe ndị na-eme ka e nwee njedebe seramiiki
| atụmatụ | Uru |
|---|---|
| Elu Mechanical Rigidity | Na-ejigide nhazi nha n'okpuru ike ibu ọrụ robotic |
| Ọrụ Okpomọkụ Dị Mma | Ọ na-arụ ọrụ nke ọma n'ọnọdụ okpomọkụ dị elu ma ọ bụ plasma |
| Mmetọ Ọla Eriri | Enweghị ihe egwu nke mmetọ ion na nhazi semiconductor dị mkpa |
| Ala nke esemokwu dị ala | Na-ebelata ihe egwu ọkọ na wafer ma ọ bụ ihe ndị e ji iko mee |
| Anti-Static na Non-Magnetik | Anaghị adọta uzuzu ma ọ bụ na-emetụta ihe ndị nwere mmetụta magnetik |
| Ndụ Ọrụ Ogologo | Nnukwu nguzogide iyi na usoro akpaaka dị elu ugboro ugboro |
| Ndakọrịta Dị Ọcha nke Uzuzu | Dabara adaba maka ụlọ nhicha ISO 14644 (Klas 100 na n'okpuru) |
Ma e jiri ya tụnyere ogwe aka plastik ma ọ bụ aluminom, seramiiki alumina na-enye nkwụsi ike kemịkalụ na anụ ahụ ka mma nke ukwuu yana obere ihe achọrọ maka mmezi.
| Akụ na ụba | Ogwe aka ígwè | Ogwe aka plastik | Ogwe aka Aluminum Seramiiki |
|---|---|---|---|
| Ike siri ike | Nke dị n'etiti | Dị ala | Oke Elu (Mohs 9) |
| Nkwụsi Ike nke Okpomọkụ | ≤ 500°C | ≤ 150°C | ≥ 1600°C |
| Nguzogide Kemịkalụ | Nke dị n'etiti | Ogbenye | Ọ dị mma nke ukwuu |
| Ọdịmma Ụlọ Nhicha | Ọkara | Dị ala | Oke Elu |
| Nguzogide iyi | Ọkara | Dị ala | Pụrụ Iche |
| Ike Dielectric | Dị ala | Ọkara | Elu |
| Nhazi Nhazi Omenala | Nwere oke | Nke dị n'etiti | Elu (±0.01mm nwere ike) |
Nkọwapụta Nkà na ụzụ
| Paramita | Uru |
|---|---|
| ihe | Alumina dị ọcha nke ukwuu (≥ 99.5%) |
| Okpomọkụ Ọrụ | Ruo 1600°C |
| Ọdịdị Elu | Ra ≤ 0.2 µm (nhọrọ) |
| Nha Wafer Dakọtara | 2 "ruo 12" ma ọ bụ omenala |
| Ntachi Obi | ±0.01 mm (dabere na ngwa) |
| Nkwado Mmiri Agụụ | Ọwa nhọrọ, nke enwere ike ịhazi |
| Nhọrọ Ntinye | Oghere ndị a gbapụrụ agbapụ, flange, na oghere ndị a gbapụrụ agbapụ |
Ajụjụ Ndị A Na-ajụkarị (FAQ)
Q1: Enwere ike itinye onye na-eme ihe njedebe n'ime sistemụ robot dị adị?
A1:Ee. Anyị na-akwado nhazi nke ọma dabere na njikọ robot gị. Ị nwere ike izipu anyị eserese CAD ma ọ bụ nha flange maka nhazi ziri ezi.
Q2: Ogwe aka seramiiki ọ ga-agbaji ngwa ngwa n'oge eji ya?
A2:Ọ bụ ezie na seramiiki na-agbawa agbawa site n'okike, atụmatụ anyị na-eji usoro geometry eme ihe iji belata nrụgide. N'ọnọdụ ojiji kwesịrị ekwesị, ha na-enye ogologo ndụ ọrụ karịa ígwè ma ọ bụ plastik.
Q3: Enwere ike iji nke a mee ihe n'ime ụlọ ndị nwere oke ikuku ma ọ bụ plasma etching?
A3:Ee. Seramiiki alumina anaghị agbaze gas, ọ na-adịgide adịgide n'ọkụ, ọ naghịkwa emebi emebi—ọ dabara nke ọma maka gburugburu ebe ikuku dị elu, gas na-emegharị ahụ, ma ọ bụ plasma.
Q4: Kedu otu esi ehicha ma ọ bụ dobe ihe ndị a?
A4:A pụrụ iji mmiri DI, mmanya na-aba n'anya, ma ọ bụ ihe nhicha ndị dabara na ụlọ nhicha sachaa ha. Achọghị mmezi pụrụ iche n'ihi na ha kwụsiri ike na elu ha na-adịghị arụ ọrụ.
Gbasara anyị
XKH bụ ọkachamara n'ihe gbasara mmepe teknụzụ dị elu, mmepụta, na ire nke iko anya pụrụ iche na ihe kristal ọhụrụ. Ngwaahịa anyị na-enye ngwa eletrọnịkị anya, ngwa eletrọnịkị ndị ahịa, na ndị agha. Anyị na-enye ihe ndị mejupụtara anya Sapphire, mkpuchi anya ekwentị mkpanaaka, seramiiki, LT, Silicon Carbide SIC, Quartz, na wafers kristal semiconductor. Site na ahụmịhe ọkachamara na ngwa ọgbara ọhụrụ, anyị na-eme nke ọma na nhazi ngwaahịa na-abụghị ọkọlọtọ, na-achọ ịbụ ụlọ ọrụ teknụzụ dị elu nke ihe optoelectronic.

















