Gallium Nitride (GaN) Epitaxial Toro na Sapphire Wafers 4inch 6inch maka MEMS
Njirimara nke GaN na Sapphire Wafers
● Oke arụmọrụ:Ngwa ndị dabere na GaN na-enye ike okpukpu ise karịa ngwaọrụ dabere na silicon, na-eme ka arụmọrụ dị na ngwa eletrọnịkị dị iche iche, gụnyere nkwalite RF na optoelectronics.
●Agba aghara sara mbara:Nnukwu bandgap nke GaN na-enyere aka ịrụ ọrụ dị elu na okpomọkụ dị elu, na-eme ka ọ dị mma maka ngwa ike dị elu na nke dị elu.
● ịdịte aka:Ikike GaN ijikwa ọnọdụ dị oke egwu (oke okpomọkụ na radieshon) na-eme ka arụmọrụ na-adịte aka na gburugburu ebe siri ike.
●Obere Nha:GaN na-enye ohere maka mmepụta nke kọmpat na ngwaọrụ dị arọ ma e jiri ya tụnyere ihe semiconductor omenala, na-eme ka obere eletrik dịkwuo ike.
Abstract
Gallium Nitride (GaN) na-apụta dị ka semiconductor nke nhọrọ maka ngwa dị elu chọrọ ike dị elu na arụmọrụ, dị ka modul n'ihu RF, usoro nkwukọrịta ngwa ngwa, na ọkụ ọkụ LED. GaN epitaxial wafers, mgbe a na-etolite na sapphire substrates, na-enye nchikota nke ịdị elu thermal conductivity, voltaji mmebi dị elu na nzaghachi ugboro ugboro, nke bụ isi maka ịrụ ọrụ kachasị mma na ngwaọrụ nkwurịta okwu ikuku, radars na jamers. Wafers ndị a dị na dayameta 4-inch na 6-inch, yana ọkpụrụkpụ GaN dị iche iche iji gboo mkpa nka dị iche iche. Ngwongwo pụrụ iche nke GaN na-eme ka ọ bụrụ onye ndoro-ndoro anya maka ọdịnihu nke ngwa eletrọnịkị ike.
Ngwa ngwaahịa
| Njirimara ngwaahịa | Nkọwapụta |
| Dayameta Wafer | 50mm, 100mm, 50.8mm |
| Mkpụrụ | Safaịre |
| GaN Layer ọkpụrụkpụ | 0.5 μm - 10 μm |
| Ụdị GaN/Doping | Ụdị N-ụdị (P-ụdị dị na arịrịọ) |
| GaN Crystal Orientation | <0001> |
| Ụdị nchacha | Otu akụkụ ehichapụ (SSP), N'akụkụ abụọ ehichapụ (DSP) |
| Ọkpụrụkpụ Al2O3 | 430 μm - 650 μm |
| TTV (Mkpokọta Ọdịiche ịdị arọ) | ≤ 10 μm |
| Ụta | ≤ 10 μm |
| Warp | ≤ 10 μm |
| Mpaghara dị n'elu | Mpaghara elu enwere ike iji> 90% |
Ajụjụ & A
Q1: Kedu uru bụ isi nke iji GaN karịa semiconductors dabere na silicon?
A1: GaN na-enye ọtụtụ uru dị ịrịba ama karịa silicon, gụnyere bandgap sara mbara, nke na-enye ya ohere ijikwa voltaji mmebi dị elu ma rụọ ọrụ nke ọma na okpomọkụ dị elu. Nke a na-eme GaN dị mma maka ike dị elu, ngwa dị elu dị ka modul RF, amplifiers ike, na LEDs. Ikike GaN ijikwa njupụta ike dị elu na-emekwa ka ngwaọrụ ndị pere mpe ma dị mma karịa ma e jiri ya tụnyere usoro ndị ọzọ dabere na silicon.
Q2: Enwere ike iji GaN na sapphire wafers na ngwa MEMS (Micro-Electro-Mechanical Systems)?
A2: Ee, GaN na Sapphire wafers dị mma maka ngwa MEMS, karịsịa ebe a chọrọ ike dị elu, nkwụsi ike okpomọkụ, na obere mkpọtụ. Ịdị ogologo oge na ịrụ ọrụ nke ọma na gburugburu ebe dị elu na-eme ka ọ dị mma maka ngwaọrụ MEMS ejiri na nkwurịta okwu ikuku, nghọta na sistemụ radar.
Q3: Kedu ngwa GaN nwere ike na nkwukọrịta ikuku?
A3: A na-eji GaN eme ihe na modul n'ihu RF maka nkwurịta okwu ikuku, gụnyere akụrụngwa 5G, sistemụ radar, na jamers. Ngwunye ike ya dị elu na ihe ọkụ ọkụ na-eme ka ọ bụrụ ihe zuru oke maka ike dị elu, ngwaọrụ dị elu, na-eme ka arụmọrụ dị mma na obere ụdị ihe atụnyere ngwọta dabeere na silicon.
Q4: Gịnị bụ oge ụzọ na ọnụ ọgụgụ kacha nta maka GaN na wafers Sapphire?
A4: Oge ndu na ọnụ ọgụgụ kacha nta dị iche iche dabere na nha wafer, ọkpụrụkpụ GaN, yana ihe ndị ahịa chọrọ. Biko kpọtụrụ anyị ozugbo maka ọnụahịa zuru ezu na nnweta dabere na nkọwapụta gị.
Q5: Enwere m ike ịnweta ọkpụrụkpụ GaN oyi akwa ma ọ bụ ọkwa doping?
A5: Ee, anyị na-enye nhazi nke ọkpụrụkpụ GaN na ọkwa doping iji gboo mkpa ngwa ngwa. Biko mee ka anyị mata nkọwapụta nke ịchọrọ, anyị ga-enye azịza ahaziri.
Eserese zuru ezu
