Dia300x1.0mmt Ọkpụrụkpụ Sapphire Wafer C-Plane SSP/DSP

Nkọwa dị mkpirikpi:

Shanghai Xinkehui New Material Co., Ltd. nwere ike ịmepụta sapphire wafers dị iche iche dị n'elu nghazi (c, r, a, na m-plane), ma na-achịkwa akụkụ ahụ kwụsịrị n'ime ogo 0.1. N'iji teknụzụ nwe ụlọ anyị, anyị nwere ike nweta ogo dị elu achọrọ maka ngwa ndị dị ka uto epitaxial na njikọta wafer.


Nkọwa ngwaahịa

Mkpado ngwaahịa

Ewebata igbe wafer

Ihe ndị kristal 99,999% nke Al2O3, ịdị ọcha dị elu, Monocrystalline, Al2O3
Ogo kristal Ntinye, akara mgbochi, ejima, Agba, obere afụ na ebe mgbasa ozi adịghị adị.
Dayameta 2 anụ ọhịa 3 anụ ọhịa 4 anụ ọhịa 6 inch ruo 12 inch
50.8± 0.1mm 76.2 ± 0.2mm 100± 0.3mm Dị ka ndokwa nke ọkọlọtọ mmepụta
Ọkpụrụkpụ 430± 15µm 550± 15µm 650± 20µm Enwere ike ịhazi ya site n'aka ndị ahịa
Nhazi C- ụgbọ elu (0001) ka M-ụgbọ elu (1-100) ma ọ bụ A-ụgbọ elu (1 1-2 0) 0.2± 0.1° /0.3±0.1°, R-ụgbọelu (1-1 0 2), A-ụgbọelu (1 1-2 0 ), M-ụgbọ elu (1-1 0 0), Usoro ọ bụla, akụkụ ọ bụla
Ogologo larịị nke isi 16.0± 1mm 22.0± 1.0mm 32.5 ± 1.5 mm Dị ka ndokwa nke ọkọlọtọ mmepụta
Nhazi flat nke izizi A-ụgbọ elu (1 1-2 0 ) ± 0.2°      
TTV ≤10µm ≤15µm ≤20µm ≤30µm
LTV ≤10µm ≤15µm ≤20µm ≤30µm
TIR ≤10µm ≤15µm ≤20µm ≤30µm
ỤTA ≤10µm ≤15µm ≤20µm ≤30µm
Warp ≤10µm ≤15µm ≤20µm ≤30µm
Ihu ihu Epi-egbu maramara (Ra<0.2nm)

* Ụta: Ntugharị nke etiti etiti nke etiti etiti nke wafer efu, nke a na-ejighị n'aka site na ụgbọ elu ntụaka, ebe a na-akọwa ụgbọ elu ntụaka site n'akụkụ atọ nke triangle equilateral.

* Warp: Ọdịiche dị n'etiti kacha na kacha nta anya nke etiti etiti nke wafer efu na-enweghị nkedo sitere na ụgbọ elu ntụaka akọwapụtara n'elu.

Ngwaahịa na ọrụ dị elu maka ngwaọrụ semiconductor ọgbọ na-abịa na uto epitaxial:

Ọkwa dị elu nke flatness (TTV na-achịkwa, ụta, warp wdg)

Nhicha dị elu (mmetọ ahụ dị ala, mmetọ ọla dị ala)

Mkpọpu ihe nke mkpụrụ osisi, ịhịa aka n'ahụ, ịcha, na polishing azụ

Mgbakwunye data dị ka ịdị ọcha na ọdịdị nke mkpụrụ (nhọrọ)

Ọ bụrụ na ị nwere mkpa maka sapphire substrates, biko nweere onwe gị ịkpọtụrụ:

ozi:eric@xkh-semitech.com+86 158 0194 2596 /doris@xkh-semitech.com+86 187 0175 6522

Anyị ga-alaghachikwute gị ngwa ngwa!

Eserese zuru ezu

vcs (2)
vcs (1)

  • Nke gara aga:
  • Osote:

  • Dee ozi gị ebe a ziga anyị ya