Dia300x1.0mmt Ọkpụrụkpụ Sapphire Wafer C-Plane SSP/DSP
Ewebata igbe wafer
Ihe ndị kristal | 99,999% nke Al2O3, ịdị ọcha dị elu, Monocrystalline, Al2O3 | |||
Ogo kristal | Ntinye, akara mgbochi, ejima, Agba, obere afụ na ebe mgbasa ozi adịghị adị. | |||
Dayameta | 2 anụ ọhịa | 3 anụ ọhịa | 4 anụ ọhịa | 6 inch ruo 12 inch |
50.8± 0.1mm | 76.2 ± 0.2mm | 100± 0.3mm | Dị ka ndokwa nke ọkọlọtọ mmepụta | |
Ọkpụrụkpụ | 430± 15µm | 550± 15µm | 650± 20µm | Enwere ike ịhazi ya site n'aka ndị ahịa |
Nhazi | C- ụgbọ elu (0001) ka M-ụgbọ elu (1-100) ma ọ bụ A-ụgbọ elu (1 1-2 0) 0.2± 0.1° /0.3±0.1°, R-ụgbọelu (1-1 0 2), A-ụgbọelu (1 1-2 0 ), M-ụgbọ elu (1-1 0 0), Usoro ọ bụla, akụkụ ọ bụla | |||
Ogologo larịị nke isi | 16.0± 1mm | 22.0± 1.0mm | 32.5 ± 1.5 mm | Dị ka ndokwa nke ọkọlọtọ mmepụta |
Nhazi flat nke izizi | A-ụgbọ elu (1 1-2 0 ) ± 0.2° | |||
TTV | ≤10µm | ≤15µm | ≤20µm | ≤30µm |
LTV | ≤10µm | ≤15µm | ≤20µm | ≤30µm |
TIR | ≤10µm | ≤15µm | ≤20µm | ≤30µm |
ỤTA | ≤10µm | ≤15µm | ≤20µm | ≤30µm |
Warp | ≤10µm | ≤15µm | ≤20µm | ≤30µm |
Ihu ihu | Epi-egbu maramara (Ra<0.2nm) |
* Ụta: Ntugharị nke etiti etiti nke etiti etiti nke wafer efu, nke a na-ejighị n'aka site na ụgbọ elu ntụaka, ebe a na-akọwa ụgbọ elu ntụaka site n'akụkụ atọ nke triangle equilateral.
* Warp: Ọdịiche dị n'etiti kacha na kacha nta anya nke etiti etiti nke wafer efu na-enweghị nkedo sitere na ụgbọ elu ntụaka akọwapụtara n'elu.
Ngwaahịa na ọrụ dị elu maka ngwaọrụ semiconductor ọgbọ na-abịa na uto epitaxial:
Ọkwa dị elu nke flatness (TTV na-achịkwa, ụta, warp wdg)
Nhicha dị elu (mmetọ ahụ dị ala, mmetọ ọla dị ala)
Mkpọpu ihe nke mkpụrụ osisi, ịhịa aka n'ahụ, ịcha, na polishing azụ
Mgbakwunye data dị ka ịdị ọcha na ọdịdị nke mkpụrụ (nhọrọ)
Ọ bụrụ na ị nwere mkpa maka sapphire substrates, biko nweere onwe gị ịkpọtụrụ:
ozi:eric@xkh-semitech.com+86 158 0194 2596 /doris@xkh-semitech.com+86 187 0175 6522
Anyị ga-alaghachikwute gị ngwa ngwa!