8inch SiC Wafer ọkwa mmepụta 4H-N SiC substrate
Tebụl na-esonụ na-egosi nkọwapụta nke wafers SiC 8 inch anyị:
| Nkọwapụta DSP SiC nke ụdị N-8 inch | |||||
| Nọmba | ihe | Ngalaba | Mmepụta | Nnyocha | Onye nzuzu |
| 1:paramita | |||||
| 1.1 | ụdị polytype | -- | 4H | 4H | 4H |
| 1.2 | nhazi elu | ° | <11-20>4±0.5 | <11-20>4±0.5 | <11-20>4±0.5 |
| 2: Paramita eletriki | |||||
| 2.1 | dopant | -- | Nitrogen ụdị n-ụdị | Nitrogen ụdị n-ụdị | Nitrogen ụdị n-ụdị |
| 2.2 | iguzogide | ohm · cm | 0.015~0.025 | 0.01~0.03 | NA |
| 3: Paramita igwe | |||||
| 3.1 | dayameta | mm | 200±0.2 | 200±0.2 | 200±0.2 |
| 3.2 | ọkpụrụkpụ | μm | 500±25 | 500±25 | 500±25 |
| 3.3 | Nhazi ọkwa | ° | [1- 100]±5 | [1- 100]±5 | [1- 100]±5 |
| 3.4 | Omimi Ọkwa | mm | 1~1.5 | 1~1.5 | 1~1.5 |
| 3.5 | LTV | μm | ≤5(10mm*10mm) | ≤5(10mm*10mm) | ≤10(10mm*10mm) |
| 3.6 | TV | μm | ≤10 | ≤10 | ≤15 |
| 3.7 | Ụta | μm | -25~25 | -45~45 | -65~65 |
| 3.8 | Warp | μm | ≤30 | ≤50 | ≤70 |
| 3.9 | AFM | nm | Ra≤0.2 | Ra≤0.2 | Ra≤0.2 |
| 4: Ọdịdị | |||||
| 4.1 | njupụta nke obere paịpụ | ea/cm2 | ≤2 | ≤10 | ≤50 |
| 4.2 | ọdịnaya ígwè | atọm/cm2 | ≤1E11 | ≤1E11 | NA |
| 4.3 | TSD | ea/cm2 | ≤500 | ≤1000 | NA |
| 4.4 | BPD | ea/cm2 | ≤2000 | ≤5000 | NA |
| 4.5 | TED | ea/cm2 | ≤7000 | ≤10000 | NA |
| 5. Àgwà ihu | |||||
| 5.1 | ihu | -- | Si | Si | Si |
| 5.2 | imecha elu | -- | CMP ihu Si-ihu | CMP ihu Si-ihu | CMP ihu Si-ihu |
| 5.3 | ihe dị obere | ea/wafer | ≤100 (nha ≥0.3μm) | NA | NA |
| 5.4 | ọkọ | ea/wafer | ≤5, Ogologo ya niile ≤200mm | NA | NA |
| 5.5 | Akụkụ ibe/ndọkpụ/mgbawa/ntụpọ/ntụpọ/mmetọ | -- | Ọ dịghị | Ọ dịghị | NA |
| 5.6 | Ebe polytype | -- | Ọ dịghị | Mpaghara ≤10% | Mpaghara ≤30% |
| 5.7 | akara ihu | -- | Ọ dịghị | Ọ dịghị | Ọ dịghị |
| 6: Ọdịdị azụ | |||||
| 6.1 | imecha azụ | -- | MP ihu C-ihu | MP ihu C-ihu | MP ihu C-ihu |
| 6.2 | ọkọ | mm | NA | NA | NA |
| 6.3 | Ntụpọ ntụpọ azụ ibe/ndọtị | -- | Ọ dịghị | Ọ dịghị | NA |
| 6.4 | Ọdịdị azụ siri ike | nm | Ra≤5 | Ra≤5 | Ra≤5 |
| 6.5 | Akara azụ | -- | Ọkpụkpọ | Ọkpụkpọ | Ọkpụkpọ |
| 7:ọnụ | |||||
| 7.1 | nsọtụ | -- | Chamfer | Chamfer | Chamfer |
| 8:Ngwugwu | |||||
| 8.1 | nkwakọ ngwaahịa | -- | Epi-njikere nwere oghere ikuku nkwakọ ngwaahịa | Epi-njikere nwere oghere ikuku nkwakọ ngwaahịa | Epi-njikere nwere oghere ikuku nkwakọ ngwaahịa |
| 8.2 | nkwakọ ngwaahịa | -- | Ọtụtụ wafer nkwakọ ngwaahịa kaseti | Ọtụtụ wafer nkwakọ ngwaahịa kaseti | Ọtụtụ wafer nkwakọ ngwaahịa kaseti |
Ihe osise zuru ezu
Ngwaahịa Ndị Yiri Ya
Dee ozi gị ebe a zitere anyị ya