6 inch GaN-On-Sapphire
150mm 6inch GaN na Silicon/Sapphire/SiC Wafer Epi-layer Gallium nitride wafer epitaxial
Wafer sapphire substrate nke dị sentimita isii bụ ihe semiconductor dị elu nke nwere akwa gallium nitride (GaN) a kụrụ n'elu sapphire substrate. Ihe a nwere ezigbo ihe eji ebufe eletrọniki ma dịkwa mma maka imepụta ngwaọrụ semiconductor dị elu ma dị elu.
Usoro mmepụta: Usoro mmepụta gụnyere ịkụnye akwa GaN n'elu ihe e ji achọ mma sapphire site na iji usoro dị elu dịka ihe e ji achọ mma kemịkalụ metal-organic (MOCVD) ma ọ bụ ihe e ji achọ mma molecular beam epitaxy (MBE). A na-eme usoro nkwụnye ihe n'okpuru ọnọdụ a na-achịkwa iji hụ na kristal dị elu ma nwee otu ihe e ji achọ mma.
Ngwa GaN-On-Sapphire nke dị sentimita isii: A na-ejikarị ibe sapphire nke dị sentimita isii eme ihe n'ọtụtụ ebe na nkwukọrịta microwave, sistemụ radar, teknụzụ ikuku na optoelectronics.
Ụfọdụ ngwa ndị a na-ejikarị eme ihe gụnyere
1. Ngwa ngwa ike Rf
2. Ụlọ ọrụ ọkụ LED
3. Ngwa nkwukọrịta netwọk ikuku
4. Ngwaọrụ eletrọniki nọ na gburugburu ebe okpomọkụ dị elu
5. Ngwaọrụ eletrọniki
Nkọwapụta ngwaahịa
- Nha: Dayameta nke ihe mkpuchi ahụ bụ sentimita isii (ihe dị ka 150 mm).
- Ọdịdị elu: E mechaala elu ahụ nke ọma iji nye ezigbo mma enyo.
- Ọkpụrụkpụ: Enwere ike ịhazi ọkpụrụkpụ nke oyi akwa GaN dịka ihe achọrọ si dị.
- Nkwakọ ngwaahịa: A na-eji ihe ndị na-egbochi mmebi eme ihe nke ọma ejupụta ihe ndị dị n'okpuru ala ahụ iji gbochie mmebi n'oge njem.
- Ọnụ ụzọ nhazi: Ihe mkpuchi ahụ nwere nsọtụ nhazi pụrụ iche nke na-eme ka nhazi na ọrụ dị mfe n'oge nkwadebe ngwaọrụ.
- Paramita ndị ọzọ: Enwere ike ịgbanwe paramita ndị a kapịrị ọnụ dịka ịcha, iguzogide na ntinye ọgwụ dịka ihe ndị ahịa chọrọ si dị.
Site na ihe onwunwe ha dị elu na ngwa dị iche iche, wafer sapphire substrate nke dị sentimita 6 bụ nhọrọ a pụrụ ịtụkwasị obi maka mmepe nke ngwaọrụ semiconductor dị elu na ụlọ ọrụ dị iche iche.
| Ihe ndị dị n'okpuru ala | 6” 1mm <111> ụdị p Si | 6” 1mm <111> ụdị p Si |
| Epi ThickỌkara nkezi | ~5um | ~7um |
| Epi ThickUnif | <2% | <2% |
| Ụta | +/- 45um | +/- 45um |
| Ịgbawa | <5mm | <5mm |
| BV kwụ ọtọ | >1000V | >1400V |
| HEMT Al% | 25-35% | 25-35% |
| Oke Ọkwa HemtỌkara | 20-30nm | 20-30nm |
| Okpu Insitu SiN | 5-60nm | 5-60nm |
| Njikọ 2DEG. | ~1013cm-2 | ~1013cm-2 |
| Mbugharị | ~2000cm2/V (<2%) | ~2000cm2/V (<2%) |
| Rsh | <330ohm/sq (<2%) | <330ohm/sq (<2%) |
Ihe osise zuru ezu
