Ọkpụrụkpụ ihe mejupụtara LN-on-Si nke dị sentimita 6-8. Ọkpụrụkpụ ihe mejupụtara ya bụ 0.3-50 μm. Si/SiC/Safaịra nke ihe.

Ọkpụrụkpụ ihe mejupụtara LN-on-Si nke dị sentimita 6-8. 0.3-50 μm. Foto a na-egosi

Nkọwa Dị Mkpirikpi:

Ihe mejupụtara LN-on-Si nke dị sentimita isii ruo sentimita asatọ bụ ihe eji arụ ọrụ nke ọma nke na-ejikọta ihe nkiri dị gịrịgịrị nke otu kristal lithium niobate (LN) na ihe ndị dị na silicon (Si), nke nwere ọkpụrụkpụ dị site na 0.3 μm ruo 50 μm. Emebere ya maka imepụta ngwaọrụ semiconductor dị elu na optoelectronic. Site na iji usoro njikọ dị elu ma ọ bụ usoro uto epitaxial, ihe a na-eme ka ihe nkiri LN dị mma nke ukwuu, ebe ọ na-eji nnukwu nha wafer (inch 6 ruo inch 8) nke ihe mkpuchi silicon iji mee ka arụmọrụ mmepụta na ịdị ọnụ ahịa dịkwuo mma.
Ma e jiri ya tụnyere ihe LN buru ibu nke nkịtị, ihe mejupụtara LN-on-Si nke dị sentimita isii ruo asatọ na-enye nhazi okpomọkụ dị elu na nkwụsi ike igwe, na-eme ka ọ dabara adaba maka nhazi ọkwa wafer buru ibu. Na mgbakwunye, enwere ike ịhọrọ ihe ndị ọzọ dị ka SiC ma ọ bụ sapphire iji mezuo ihe achọrọ maka ngwa, gụnyere ngwaọrụ RF ugboro ugboro, photonics agbakwunyere, na sensọ MEMS.

Zitere anyị ozi-e

atụmatụ

Teknụzụ paramita

0.3-50μm LN/LT na ihe mkpuchi
Oyi akwa dị n'elu
Dayameta	6-8 inch
Nhazi	X, Z, Y-42 wdg.
Ihe Ndị E Ji Eme Ihe	LT, LN
Ọkpụrụkpụ	0.3-50μm
Substrate (ahaziri)
ihe	Si, SiC, Sapphire, Spinel, Quartz

Isi Atụmatụ

A na-amata ihe mejupụtara LN-on-Si nke dị sentimita isii ruo asatọ site na njirimara ihe pụrụ iche ya na paramita ndị a na-agbanwe agbanwe, na-eme ka o kwe omume itinye ya n'ọrụ na ụlọ ọrụ semiconductor na optoelectronic:

1. Ndakọrịta Wafer buru ibu: Nha wafer nke dị sentimita isii ruo sentimita asatọ na-eme ka njikọ dị n'etiti ahịrị mmepụta semiconductor dị adị (dịka ọmụmaatụ, usoro CMOS), na-ebelata ọnụ ahịa mmepụta ma na-eme ka mmepụta buru ibu dịkwuo mma.

2. Ogo Crystalline Dị Elu: Usoro epitaxial ma ọ bụ njikọ kachasị mma na-eme ka njupụta ntụpọ dị ala na ihe nkiri dị gịrịgịrị nke LN, na-eme ka ọ dị mma maka modulators optical dị elu, nzacha acoustic ebili mmiri elu (SAW), na ngwaọrụ ndị ọzọ ziri ezi.

3. Oke ọkpụrụkpụ a na-agbanwe agbanwe (0.3–50 μm): Akwa LN dị gịrịgịrị (<1 μm) dabara adaba maka ibe fotonik agbakwunyere, ebe akwa dị arọ (10–50 μm) na-akwado ngwaọrụ RF dị ike ma ọ bụ sensọ piezoelectric.

4. Nhọrọ dị iche iche nke ihe ndị dị n'ime ala: Na mgbakwunye na Si, enwere ike ịhọrọ SiC (ike okpomọkụ dị elu) ma ọ bụ sapphire (ike mkpuchi dị elu) dị ka ihe ndabere iji mezuo ihe achọrọ nke ngwa dị elu, okpomọkụ dị elu, ma ọ bụ ike dị elu.

5. Okpomọkụ na Mechanical Stability: Ihe mkpuchi silicon na-enye nkwado siri ike n'ime igwe, na-ebelata mgbagọ ma ọ bụ mgbawa n'oge nhazi na ime ka mmepụta ngwaọrụ ka mma.

Ihe ndị a na-etinye ihe mejupụtara LN-on-Si nke dị sentimita isii ruo sentimita asatọ dịka ihe a na-ahọrọ maka teknụzụ kachasị ọhụrụ dịka nkwukọrịta 5G, LiDAR, na quantum optics.

Ngwa Ndị Isi

A na-anabata ihe mejupụtara LN-on-Si nke dị sentimita isii ruo sentimita asatọ n'ọtụtụ ụlọ ọrụ teknụzụ dị elu n'ihi njirimara electro-optic, piezoelectric, na acoustic pụrụ iche ya:

1. Nkwukọrịta Anya na Ngwakọta Photonics: Na-eme ka ndị na-eme ka electro-optic modulators, waveguides, na photonic integrated circuits (PICS) dị elu, na-edozi mkpa bandwit nke ebe data na netwọk fiber-optic.

Ngwaọrụ RF 2.5G/6G: Oke ọnụọgụ piezoelectric nke LN na-eme ka ọ dị mma maka nzacha ebili mmiri dị n'elu (SAW) na nnukwu ebili mmiri (BAW), na-eme ka nhazi mgbaàmà dịkwuo mma na ọdụ ntọala 5G na ngwaọrụ mkpanaka.

3.MEMS na Sensọ: Mmetụta piezoelectric nke LN-on-Si na-eme ka ngwa ngwa accelerometers, biosensors, na ultrasonic transducers dị mfe maka ngwa ahụike na ụlọ ọrụ mmepụta ihe.

4. Teknụzụ Quantum: Dịka ihe na-anaghị acha anya, a na-eji ihe nkiri dị gịrịgịrị nke LN eme ihe na isi iyi ọkụ quantum (dịka ọmụmaatụ, ụzọ abụọ nke foton e ji kegide) na ibe quantum agbakọtara.

5. Laser na Optics Nonlinear: Ultrathin LN oyi akwa na-eme ka ngwaọrụ nke abụọ-harmonic generation (SHG) na oscillation optical parametric (OPO) dị irè maka nhazi laser na nyocha spectroscopic.

Ihe mejupụtara LN-on-Si nke dị sentimita isii ruo sentimita asatọ na-enye ohere imepụta ngwaọrụ ndị a na nnukwu akwa wafer, nke na-ebelata ọnụ ahịa mmepụta nke ukwuu.

Nhazi na Ọrụ

Anyị na-enye nkwado teknụzụ zuru oke na ọrụ nhazi maka ihe mejupụtara LN-on-Si nke dị sentimita 6 ruo sentimita 8 iji gboo mkpa R&D na mmepụta dị iche iche:

1. Nhazi omenala: Enwere ike ịhazi ọkpụrụkpụ ihe nkiri LN (0.3–50 μm), nhazi kristal (X-cut/Y-cut), na ihe ndị dị n'okpuru ala (Si/SiC/sapphire) iji mee ka arụmọrụ ngwaọrụ ka mma.

2. Nhazi Ọkwa Wafer: Nnweta nnukwu wafers nke dị sentimita isii na asatọ, gụnyere ọrụ azụ dịka ịkpụcha, ịchacha, na mkpuchi, na-eme ka ihe ndị dị n'ime ya dị njikere maka njikọta ngwaọrụ.

3. Ndụmọdụ na Nnwale Teknụzụ: Nkọwapụta ihe (dịka ọmụmaatụ, XRD, AFM), nnwale arụmọrụ elektrọnik, na nkwado ịme ihe nlereanya ngwaọrụ iji mee ka nkwenye imewe dị ngwa.

Ọrụ anyị bụ ịmepụta ihe mejupụtara LN-on-Si nke dị sentimita isii ruo sentimita asatọ dịka ihe ngwọta ihe eji arụ ọrụ maka ngwa optoelectronic na semiconductor, na-enye nkwado site na R&D ruo na mmepụta buru ibu.

Mmechi

Ihe mejupụtara LN-on-Si nke dị sentimita isii ruo sentimita asatọ, ya na nnukwu nha wafer ya, ịdị mma ihe dị elu, na ọtụtụ ihe dị iche iche, na-akwalite ọganihu na nkwukọrịta anya, 5G RF, na teknụzụ quantum. Ma ọ bụ maka nrụpụta dị elu ma ọ bụ ngwọta ahaziri ahazi, anyị na-enye substrates a pụrụ ịtụkwasị obi na ọrụ ndị ọzọ iji mee ka ihe ọhụrụ teknụzụ sie ike.