6 na Silicon Carbide 4H-SiC Semi-Insulating Ingot, Dummy Grade

6 n'ime Silicon Carbide 4H-SiC Semi-Insulating Ingot, Dummy Grade Foto a egosipụtara

Nkọwa Dị Mkpirikpi:

Silicon Carbide (SiC) na-agbanwe ụlọ ọrụ semiconductor, ọkachasị n'ọrụ dị elu, nke na-eguzogide ọkụ eletrik, na nke na-eguzogide radieshon. Ingot nke nwere ihe mkpuchi ọkara nke 4H-SiC nke dị sentimita isii, nke a na-enye n'ọkwa dummy, bụ ihe dị mkpa maka nhazi, nyocha, na usoro nhazi. Site na nnukwu bandgap, ezigbo njikwa okpomọkụ, na ike mekaniki, ingot a na-eje ozi dị ka nhọrọ dị ọnụ ala maka nnwale na nhazi usoro na-emebighị ogo dị mkpa maka mmepe dị elu. Ngwaahịa a na-enye ọtụtụ ngwa, gụnyere ngwa eletrọnịkị ike, ngwaọrụ redio-frequency (RF), na optoelectronics, na-eme ka ọ bụrụ ngwaọrụ bara uru maka ụlọ ọrụ na ụlọ ọrụ nyocha.

Zitere anyị ozi-e

atụmatụ

Njirimara

1. Njirimara Anụ ahụ na Nhazi
●Ụdị ihe: Silicon Carbide (SiC)
●Ụdị: 4H-SiC, nhazi kristal hexagonal
● Dayameta: sentimita isii (150 mm)
●Ọkpụrụkpụ: Enwere ike ịhazi ya (5-15 mm dịka ọ dị na ọkwa dummy)
●Nhazi kristal:
oPrimary: [0001] (C-plane)
Nhọrọ nke abụọ: 4° dị n'akụkụ aka ekpe maka uto epitaxial kachasị mma
●Nhazi Elu Dị larịị nke Mbụ: (10-10) ± 5°
●Nhazi nke Abụọ nke Dị larịị: 90° site na ntụgharị aka elekere site na nke mbụ nke dị larịị ± 5°

2. Njirimara eletriki
●Nguzogide:
oSemi-insulating (>106^66 Ω·cm), nke dị mma maka ibelata ikike nje.
●Ụdị ọgwụ mgbochi ọrịa:
o Ejiri ọgwụ e tinyere n'amaghị ama mee ihe, nke na-eme ka ike eletriki dị elu ma kwụsie ike n'okpuru ọtụtụ ọnọdụ ọrụ.

3. Njirimara nke Okpomọkụ
●Ọnọdụ okpomọkụ: 3.5-4.9 W/cm·K, nke na-eme ka okpomọkụ dị irè na sistemụ ike dị elu.
●Njikọ Mgbasa Okpomọkụ: 4.2×10−64.2 \ugboro 10^{-6}4.2×10−6/K, na-eme ka akụkụ kwụsie ike n'oge nhazi okpomọkụ dị elu.

4. Njirimara Anya
●Bandgap: obosara bandgap nke 3.26 eV, nke na-enye ohere ịrụ ọrụ n'okpuru oke voltaji na okpomọkụ.
●Nkọwapụta: Nnukwu nghọta na UV na ogologo ebili mmiri a na-ahụ anya, bara uru maka nnwale optoelectronic.

5. Njirimara Mekaniki
●Isi Ike: Mohs scale 9, nke abụọ karịa dayamọnd, na-eme ka o sie ike mgbe a na-ahazi ya.
●Njupụta nke ntụpọ:
o A na-achịkwa ya maka obere ntụpọ macro, na-ahụ na ọ dị mma maka ngwa ndị a na-eji n'ọkwa dị elu.
●Ịdị larịị: Ịdị otu na ọdịiche dị iche iche

Paramita	Nkọwa	Ngalaba
Ọkwa	Akara Dọmị
Dayameta	150.0 ± 0.5	mm
Nhazi Wafer	N'akụkụ: <0001> ± 0.5°	ogo
Nguzogide Ọdụdọ Eletriki	> 1E5	Ω·cm
Nhazi Ala Dị Elu nke Mbụ	{10-10} ± 5.0°	ogo
Ogologo Dị larịị nke Mbụ	Ọkpụkpọ
Mgbawa (Nyocha ọkụ siri ike)	< 3 mm na radial	mm
Efere Hex (Nyocha ọkụ siri ike)	Mpaghara mkpokọta ≤ 5%	%
Ebe Polytype (Nyocha Ìhè Dị Ike)	Mpaghara mkpokọta ≤ 10%	%
Njupụta nke paịpụ micropipe	< 50	cm−2^-2−2
Mkpọchi ọnụ	A na-ahapụ 3, nke ọ bụla ≤ 3 mm	mm
Ihe ndetu	Ọkpụrụkpụ nke ịkpụ wafer < 1 mm, > 70% (ewezuga nsọtụ abụọ) na-emezu ihe ndị a chọrọ n'elu.

Ngwa

1. Nhazi na Nnyocha
Ingot 4H-SiC nke dị sentimita isii nke nwere ihe osise dị nro bụ ihe zuru oke maka imepụta ihe nlereanya na nyocha, na-enye ndị nrụpụta na ụlọ nyocha ohere:
●Nhazi usoro nnwale na Mbelata Uzuoku Kemịkalụ (CVD) ma ọ bụ Mbelata Uzuoku N'ahụ (PVD).
●Mepụta ma meziwanye usoro ịkpụcha ihe, ịchacha ihe, na ịcha wafer.
●Chọpụta atụmatụ ngwaọrụ ọhụrụ tupu ị gaa na ihe mmepụta ọkwa.

2. Nhazi na Nnwale Ngwaọrụ
Njirimara nke ihe mkpuchi semi-insulating na-eme ka ingot a baa uru maka:
●Ịtụle ma hazie njirimara eletriki nke ngwaọrụ nwere ike dị elu na nke na-agba ọsọ ọsọ.
●Ịme ihe ngosi ọnọdụ ọrụ maka MOSFETs, IGBTs, ma ọ bụ diodes n'ebe nnwale.
●Na-eje ozi dị ka ihe nnọchi anya ihe ndị dị ọcha nke ọma n'oge mmalite mmepe.

3. Elektrọniki Ike
Oke ike okpomọkụ na njirimara bandgap sara mbara nke 4H-SiC na-eme ka ọrụ dị irè na eletrọniki ike, gụnyere:
●Inye ike dị elu.
●Inverters nke ụgbọala eletriki (EV).
● Sistemụ ike a na-emegharị emegharị, dịka ihe na-agbanwe ọkụ anyanwụ na turbine ikuku.

4. Ngwa Ugboro Redio (RF)
Mfu dielectric dị ala nke 4H-SiC na nnukwu mmegharị elektrọn na-eme ka ọ dabara maka:
● Igwe amplifiers na transistors RF na akụrụngwa nkwukọrịta.
● Sistemụ radar dị elu maka ngwa ụgbọelu na nchekwa.
●Ihe ndị dị na netwọk ikuku maka teknụzụ 5G na-apụta.

5. Ngwaọrụ Ndị Na-eguzogide Radiation
N'ihi nguzogide ya na ntụpọ radieshon kpatara, ihe mkpuchi 4H-SiC nke na-egbochi ihe mkpuchi dị mma maka:
●Ngwa nyocha mbara igwe, gụnyere igwe eletrọniki satịlaịtị na sistemụ ike.
●Electrọniki ndị e ji radieshọn mee ka ha sie ike maka nlekota na njikwa nuklia.
●Ngwa nchekwa chọrọ ike siri ike n'ebe dị oke njọ.

6. Optoelectronics
Nghọta anya na nnukwu bandgap nke 4H-SiC na-enye ohere iji ya na:
●Ihe nchọpụta foto UV na LED ndị nwere ike dị elu.
●Ịnwale mkpuchi anya na ọgwụgwọ elu.
●Ịmepụta ihe ndị dị na ngwa anya maka ihe mmetụta dị elu.

Uru nke ihe eji eme ihe na-adịghị mma

Arụmọrụ ọnụ ahịa:
Akara a na-akpọ "dummy grade" bụ ihe ọzọ dị ọnụ ala karịa nyocha ma ọ bụ ihe ndị e ji emepụta ihe, nke na-eme ka ọ dị mma maka nnwale oge niile na imeziwanye usoro.

Nhazi:
Akụkụ nhazi na nhazi kristal na-eme ka o kwekọọ na ọtụtụ ngwa dị iche iche.

Nhazi:
Dayameta nke sentimita isii ahụ kwekọrọ na ọkọlọtọ ụlọ ọrụ, na-enye ohere ka usoro mmepụta ahụ dịkwuo mma n'enweghị nsogbu.

Ike siri ike:
Ike igwe dị elu na nkwụsi ike okpomọkụ na-eme ka ingot dịgide ma bụrụ nke a pụrụ ịtụkwasị obi n'okpuru ọnọdụ nnwale dị iche iche.

Ịdị iche iche:
Ọ dabara adaba maka ọtụtụ ụlọ ọrụ, site na sistemụ ike ruo na nkwukọrịta na optoelectronics.

Mmechi

Ingot Silicon Carbide nke dị sentimita isii (4H-SiC) nke nwere ihe mkpuchi ọkara, nke a na-akpọ "dummy grade", na-enye ikpo okwu a pụrụ ịtụkwasị obi ma dị iche iche maka nyocha, nhazi, na nnwale na ngalaba teknụzụ kachasị ọhụrụ. Njirimara okpomọkụ, eletriki, na igwe pụrụ iche ya, yana ọnụ ahịa dị ọnụ ala na nhazi, na-eme ka ọ bụrụ ihe dị mkpa maka agụmakwụkwọ na ụlọ ọrụ mmepụta ihe. Site na ngwa eletrọnịkị ike ruo na sistemụ RF na ngwaọrụ ndị na-eme ka radieshon sie ike, ingot a na-akwado ihe ọhụrụ n'ọkwa ọ bụla nke mmepe.
Maka nkọwapụta zuru ezu ma ọ bụ ịrịọ maka ọnụahịa, biko kpọtụrụ anyị ozugbo. Ndị otu teknụzụ anyị dị njikere inye aka na ngwọta ahaziri iche iji mezuo ihe ị chọrọ.