2inch SiC ingot Dia50.8mmx10mmt 4H-N monocrystal

Nkọwa dị mkpirikpi:

SiC nke anụ ọhịa 2-inch (silicon carbide) ingot na-ezo aka na otu cylindrical ma ọ bụ ngọngọ nwere otu kristal silicon carbide nwere dayameta ma ọ bụ n'ọnụ ọnụ nke sentimita abụọ. A na-eji silicon carbide ingots mee ihe dị ka ihe mmalite maka mmepụta nke ngwaọrụ semiconductor dị iche iche, dị ka ngwaọrụ eletrọnịkị ike na ngwaọrụ optoelectronic.

Zitere anyị email

Nkọwa ngwaahịa

Mkpado ngwaahịa

Teknụzụ uto SiC Crystal

Njirimara SiC na-eme ka o sie ike itolite otu kristal. Nke a bụ n'ihi n'eziokwu na ọ dịghị mmiri mmiri mmiri na stoichiometric ratio nke Si: C = 1: 1 na ikuku ikuku, na ọ gaghị ekwe omume na-eto eto SiC site na-eto eto eto eto, dị ka kpọmkwem ịbịaru usoro na. usoro nke na-ada ada, nke bụ isi ihe na ụlọ ọrụ semiconductor. Theoretically, a ngwọta na a stoichiometric ratio nke Si: C = 1: 1 nwere ike nweta naanị mgbe nrụgide dị ukwuu karịa 10E5atm na okpomọkụ dị elu karịa 3200 ℃. Ugbu a, ụzọ ndị bụ isi gụnyere usoro PVT, usoro mmiri mmiri, na usoro ntinye kemịkalụ ikuku na-ekpo ọkụ.

Ndị SiC wafers na kristal anyị na-enye bụ ndị na-eto eto site na ụgbọ njem anụ ahụ (PVT), na ihe ndị a bụ mmeghe dị nkenke na PVT:

Ụzọ ụgbọ njem anụ ahụ (PVT) sitere na usoro gas-phase sublimation usoro nke Lely chepụtara na 1955, bụ nke a na-etinye ntụ ntụ SiC n'ime tube graphite ma kpoo ọkụ na okpomọkụ dị elu iji mee ka ntụ ntụ SiC decompose na sublimate, na mgbe ahụ graphite. A na-eme ka tube dị jụụ, a na-edobekwa ihe ndị mejupụtara gas-phase nke ntụ ntụ SiC na kristal dị ka kristal SiC na mpaghara gbara ya gburugburu nke tube graphite. Ọ bụ ezie na usoro a siri ike ịnweta otu kristal SiC buru ibu na usoro ntinye n'ime graphite tube siri ike ịchịkwa, ọ na-enye echiche maka ndị nchọpụta na-esote.

YM Tairov et al. na Russia webatara echiche nke kristal mkpụrụ na ndabere a, bụ nke doziri nsogbu nke ọdịdị kristal na-enweghị nchịkwa na ọnọdụ nucleation nke kristal SiC. Ndị nchọpụta sochirinụ gara n'ihu na-emeziwanye ma mechaa mepụta usoro mbufe ikuku anụ ahụ (PVT) nke a na-eji arụ ọrụ arụ ọrụ taa.

Dị ka ụzọ izizi SiC kristal nke mbụ, PVT bụ ugbu a usoro uto kachasị maka kristal SiC. E jiri ya tụnyere ụzọ ndị ọzọ, usoro a nwere ihe dị ala chọrọ maka akụrụngwa na-eto eto, usoro uto dị mfe, njikwa siri ike, mmepe nke ọma na nyocha, ma emebelarị ya.